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電子部品作製における厚膜形成は、主としてスクリーン印刷法、ディスペンス法などで行われてきた。しかしながら、近年の電子部品の軽薄短小化とともに使用する膜の薄膜化がすすみ、上記工法でのパターン形成による対応が困難となってきている。インクジェット法は、狙った場所に狙った量だけ材料を塗布可能であることから、省材料のプロセス技術としても注目されているが、インク材料を選択することによりスクリーン印刷やディスペンスよりも薄い膜のパターンが作製可能である。そこで、電子部品の作製を行うため、機能性酸化物粒子を含み分散安定性・・・ |
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