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μ T A S やバイオチップなどの次世代技術の研究において、微細な流路やウエルなどの構造を持つマイクロチップを利用することにより、医療や化学分析などの分野に関連した様々なアプリケーションが提案されている。このようなマイクロチップとしては、研究開発段階においては、主にガラスやシリコンをドライエッチングなどにより微細加工して作製したものが用いられる。しかしこれらのチップは、加工設備や材料コストのために極めて高価であったり、低い生産性でしか製造できなかったりして、そのままでは実用には向かない。 アプリケーシ・・・ |
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