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研究開発テーマ詳細
課題番号
4-001
タイトル
μ波モード制御による高効率ECRプラズマ生成とそのプロセス応用に関する研究開発
研究者
鍋澤浩文
研究期間
平成15〜16年度
年度
報告書 <冒頭部分>
研究報告本文
研究成果概要
15
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