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研究開発テーマ詳細

課題番号 4-001
タイトル μ波モード制御による高効率ECRプラズマ生成とそのプロセス応用に関する研究開発
研究者 鍋澤浩文
研究期間 平成15〜16年度


年度 報告書 <冒頭部分> 研究報告本文 研究成果概要
15 研究報告PDF




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