研究開発テーマ詳細

課題番号	4-016
タイトル	レーザー干渉法によるナノ構造をもつ光学部品の開発
研究者	本保栄治
研究期間	平成20年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
20	光の波長より短い周期をもつ表面構造は、屈折率、複屈折、共鳴現象など制御できることから、現在盛んに研究が行われている。特に、微細な突起が整列した構造による反射防止、金属を線状に配置したワーヤーグリッド偏光板、および回折光学素子は、実用化されつつある。これらの光学素子は、実験的には電子線描画装置とプラズマエッチングによって作製される。紫外線レーザーを用いた干渉露光法を利用する場合もある。また、これらの光学素子はモールドを樹脂に押しつけて凹凸を形成する、ナノインプリント法を利用することができる。微細構造であるが・・・