研究開発テーマ詳細

課題番号	5-031
タイトル	外乱下においてサブ原子層レベルの感度を有する次世代QCMの開発
研究者	鍋澤浩文
研究期間	平成18年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
18	このプロジェクトは、独立振動可能なマルチチャンネル型水晶振動子マイクロバランス（QCM）の高 性能化と、これを用いた生体物質や環境汚染物質などの特定を行うQCM 型分子認識チップシステムの創製を目的としている。従来型QCM の高性能化を図るためには、素子に高いQ 値を持たせるだけでなく、スプリアスを抑制する素子構造を実現しなければならない。この構造の一つとして、水晶を凸形状に加工したエネルギー閉じ込め型構造がある。我々はこの構造を実現するために、リフロー処理したフォトレジストによる水晶のドライエッチング技・・・