研究開発テーマ詳細

課題番号	5-032
タイトル	MEMS技術を応用した磁気風式ガスレートジャイロセンサの研究開発
研究者	小幡　勤
研究期間	平成19年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
19	MEMS技術は圧力センサやインクジェットなどの製品で中心として応用、利用されてきた。近年、携帯機器の急速な普及と高機能化に伴って、慣性量、音声などの情報を取り込むためのセンサとして利用されるようになり、MEMSの市場は拡大してきた。とくに、慣性センサに代表される加速度センサや角速度センサ（ジャイロ）は、従来の圧力センサやインクジェットが横ばいになっているのに比べ、成長し続けているMEMS分野の一つである。これら慣性センサの弱点の一つは、可動部を有することに起因する耐衝撃性の点にある。仕様上は、数千Ｇの加速・・・