研究開発テーマ詳細

課題番号	5-037
タイトル	電子回路用ウェットエッチング液の研究
研究者	小幡　勤
研究期間	平成19年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
19	近年、地上デジタル放送対応テレビやパソコンなどディスプレイのほとんどが液晶ディスプレイに置き換えられつつある。その液晶の製造工程では半導体分野と比較して最小加工線幅が広いため、ウエットエッチングが多用されている。代表的な例として、TFT(Thin FilmTransistor)の電極形成がある。TFTの電極には、ヒロック（加熱工程で配線膜表面に形成される微細な突起）の発生抑制に優れているAl−Nd系合金が使用される場合が多い。しかし、安価で低抵抗な配線膜として、積層膜（Mo―Al―Mo）の採用も考えられて・・・