研究開発テーマ詳細

課題番号	5-038
タイトル	多軸ジャイロセンサの試作と特性評価に関する研究
研究者	小幡　勤
研究期間	平成19年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
19	近年、カメラ付き携帯電話等が一般的となり、また高精細化が進むにつれて手ぶれ検出のためのジャイロセンサが市場より強く求められている。しかし、これまでのジャイロセンサの大半は１軸のみ検出するもので、手ぶれ検出に必要な角速度の正確な測定が本質的に困難である。このため、多軸検出が不可欠であるものの、従来型ものはバルクの圧電セラミックスを使用した１軸センサを複数個組み合わせていることから形状が大きく、携帯電話等に搭載できない。また求められる耐衝撃性に対応できない等の課題を抱えている。そこで、本研究では半導体技術とM・・・