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研究開発テーマ詳細

課題番号 5-040
タイトル 静電容量型多軸モーションセンサの他軸感度特性改善に関する研究
研究者 小幡 勤
研究期間 平成19年度


年度 報告書 <冒頭部分> 研究報告本文 研究成果概要
19 近年、MEMS技術の進歩により加速度や角速度センサは低価格、小型化、多軸化に伴い、自動車分野、ロボット分野、そして民生分野などの幅広い分野で使われるようになった。現在、多軸慣性の検出には、1軸センサを複数組み合わせるか、3軸加速度と角速度のセンサを組み合わせて使用するケースがあるが、今後は1つの素子で角速度と加速度が検出できるセンサが期待されており、実際に提案されている。今回、加速度3軸と角速度2軸が同時に検出できる静電容量型センサを題材にバルクMEMSプロセスの改善を検討したので報告する。 研究報告PDF




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