研究開発テーマ詳細

課題番号	5-040
タイトル	静電容量型多軸モーションセンサの他軸感度特性改善に関する研究
研究者	小幡　勤
研究期間	平成19年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
19	近年、MEMS技術の進歩により加速度や角速度センサは低価格、小型化、多軸化に伴い、自動車分野、ロボット分野、そして民生分野などの幅広い分野で使われるようになった。現在、多軸慣性の検出には、1軸センサを複数組み合わせるか、3軸加速度と角速度のセンサを組み合わせて使用するケースがあるが、今後は１つの素子で角速度と加速度が検出できるセンサが期待されており、実際に提案されている。今回、加速度３軸と角速度２軸が同時に検出できる静電容量型センサを題材にバルクMEMSプロセスの改善を検討したので報告する。