研究開発テーマ詳細

課題番号	5-041
タイトル	MEMS技術による改良型３軸加速度センサの設計・開発及び超小型マイクロデバイス等に関する研究
研究者	小幡　勤
研究期間	平成19年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
19	一昨年前から携帯電話機やゲームなどのコンシューマ機器への慣性センサの大量採用が始まった。半導体集積回路の超微細化が進み、消費電力の低下、処理能力が向上するという背景から、インタラクティブ（対話型）なインターフェイスの採用が行われたことによるものである。一方アミューズメント用として使われるセンサは、性能よりも低価格化を要求されるということもあり、必ずしも高性能なものではない。本研究では、静電容量型であることを生かし、超小型で高性能な３軸加速度センサの開発を目標としている。