研究開発テーマ詳細
| 課題番号 | 5-042 |
| タイトル | SOI基板を応用したMEMSデバイスに関する研究 |
| 研究者 | 小幡 勤 |
| 研究期間 | 平成19〜20年度 |
| 年度 | 報告書 ＜冒頭部分＞ | 研究報告本文 | 研究成果概要 |
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| 19 | MEMS（Micro Electro Mechanical System）は、立体的な微細構造、センサ、アクチュエータ及び回路をシリコン基板上などに集積化したものであり、小型、省電力ながら複雑で高度な働きをするシステムであり、モバイル機器へ新たなる機能を提供できる可能性が高いため、注目を集めている。近年、大容量コンテンツの増加に伴い、光通信ネットワークのデータは増大してきており、大容量のデータを光のまま信号経路を切り替えるためのMEMS 光スイッチの必要性が高まっている。一方、携帯電話や携帯ゲーム機等モバ・・・ |  |