研究開発テーマ詳細

課題番号	5-048
タイトル	新規MEMSデバイスのためのMEMSプロセスに関する研究
研究者	小幡　勤
研究期間	平成20年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
20	MEMS 技術の応用分野は幅広く、センサ、バイオ、アクチュエーターなど半導体集積回路製造技術を生かした加工プロセスによって様々に応用されている。本研究では、MEMS プロセスの可能性を探るために、プロセス評価用の試作を行い、歩留まり対策等も含めた工程開発をおこなった。