研究開発テーマ詳細

課題番号	5-049
タイトル	MEMS技術を用いた多軸機械量センサの試作と特性評価に関する研究
研究者	小幡　勤
研究期間	平成20年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
20	MEMS 技術を応用した加速度センサは、バルク型及びサーフェイス型のマイクロマシニングの代表格となっている。現在市販されている加速度センサは、主に携帯機器やアミューズメント用途が主体であり、あまり分解能は求められていない。またこれらの用途ではほぼ市場が固まりつつあり、これから新規の市場を開拓するのであれば、既存メカ式加速度計との置き換え用途というものを考えてゆかねばならない。本研究では、これまで開発してきた多軸機械量センサを生かして、より高精度な出力が得られるサーボ型3軸加速度センサとして試作をおこなった。