研究開発テーマ詳細

課題番号	5-052
タイトル	機能性材料の微細加工技術に関する研究開発
研究者	鍋澤浩文
研究期間	平成20年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
20	平成14 年度より、ポリマーや圧電材料など、非半導体材料をターゲットにしたドライエッチング装置及びこの装置を用いた微細加工技術について、検討を進めてきている。今年度は、光学素子やマイクロ流体素子の基材となる透明熱可塑性樹脂プレートの微細加工を行い、加工後の表面性状及び光透過特性について検討を行った。