研究開発テーマ詳細

課題番号	7-038
タイトル	ナノポーラス構造薄膜の作製とセンサーへの応用研究
研究者	岩坪　聡
研究期間	平成18〜19年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
18	近年環境に対する関心が高まり、空気質をモニタリングするガスセンサーの需要が高くなっている。中でも、人命の保護や人体の健康維持を目的に、不完全燃焼物質であるCOや大気汚染物質のNOx、Ox、また、可燃性気体であるCH4などを検出する各種のガスについて、センサー感度とガス選択性の向上、さらに消費電力の低減化など、性能の向上が求められている。現在、上記のようなガスセンサーとして、一般的に機能性酸化物であるSnO2等の粉体や沈殿法などで作製された粒子をベースにした厚膜焼結体を用いている。しかしながら、センサー感度・・・