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圧電方式の圧力センサーは、高感度で信頼性に優れているため、多くの分野で利用されている。特に、自動車エンジンの燃料噴射機構での応用が期待されている。 しかし、高温環境であるため、キュリー点の高い圧電セラミックス材料が必要である。また環境への規制より、非鉛系であることが望ましい。一方スクリーン印刷法は,厚み数10μmの厚膜パターンが容易に形成できるため、マイクロセンサ素子や小型電子部品等の作製に有効である。ここでは、非鉛系の強誘電体材料としてキュリー点が高く比較的圧電性が大きいBi4Ti3O12系材料の開発を・・・ |
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