研究開発テーマ詳細

課題番号	7-052
タイトル	高機械的品質係数圧電材料による電子部品の開発
研究者	角田龍則
研究期間	平成20年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
20	近年、圧電体と電極の膜を成膜したSi 基板をエッチングすることによって、キャビティ構造を実現したフィルタや圧力センサなどの電子部品が、製品化され市場に投入されている。このような電子部品は、それぞれ従来のものより高性能であり、特に圧力センサにおいては800℃以上の高温に耐えることができるように設計されている。その使用用途は、排気ガス浄化用の白金触媒性能を評価するために必要な高温下での圧力測定である。現在も電子部品メーカ各社で低コスト化を主として商品開発が進められている。本研究では、このようなキャビティ構造を・・・