研究開発テーマ詳細

課題番号	7-054
タイトル	アルミナ基板上への非鉛系高誘電率厚膜の形成
研究者	二口友昭
研究期間	平成20年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
20	アルミナ基板は、バランスのとれた優れた特性を有し、また安定な品質で提供されているため、電子部品や電子機器に多く用いられてきている。さらに近年はその形状に対する厳しい要求にも対応し、小型チップ部品から大型の実装配線基板まで利用範囲も拡大している。一方高誘電率厚膜は、近年高温使用環境などで高い信頼性が必要な分野で、はんだ付けが不要なコンデンサ素子として注目されており、さらに、加速度センサなどのMEMSデバイス用実装基板や、小型の蓄電デバイスおよび発電デバイスにおいても、高誘電率で平坦な誘電体厚膜の要望がある。