研究開発テーマ詳細

課題番号	8-046
タイトル	ナノインデンテーション法による多層膜の評価方法
研究者	岩坪　聡
研究期間	平成18年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
18	表面の硬さは、ドライボロジー特性決める重要な因子の１つであり、半導体デバイスをはじめとして、MEMS デバイスなどにとってもその特性を決める重要な値である。さらに、近年ナノテクノロジーの発展により、材料に求められる構造は、バルク的な均一な構造のものから、Low-ｋ材などのミクロポーラス、メソポーラス構造へと変化しつつあり、薄膜の厚みも数ミクロンから数十nmへ、膜も単層から多層膜へと、ますます複雑になっている。そこで、ナノインデンテーション法の加重変位曲線を詳細に解析することで、多層膜の評価を可能にする技術・・