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プラスチック基板上の金属薄膜を加熱する方法としては、従来から行われている外部熱源を使用する間接加熱もあるが、同時に基板も加熱されてしまうので、プラスチックに利用することはできない。一方マイクロ波を用いた場合は、プラスチック基板は加熱されることはないので、金属薄膜のみを優先的に加熱することが可能である。金属薄膜のみを直接的に加熱するため、プラスチック基板の溶融・変形を抑えることができる。そこで、本実験ではプラスチック表面に、耐薬品性、耐摩耗性等を付与することを目的とし、プラスチック基板上に成膜した金属薄膜の・・・ |
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