| 平成１５年度 研究課題外部評価報告書（事前、 |
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| 研究テーマ名 | 超精密薄膜抵抗器の開発 | |||||
| 研究実施期間 | 平成１６年度 〜 平成１７年度 | |||||
| 研究概要 | 薄膜抵抗器の高精度化を目的に、低温度係数薄膜抵抗体を開発する。まず、薄膜抵抗器の温度特性に及ぼす要因を明らかにする。その結果を参考に、薄膜抵抗器の設計・試作と特性評価を行い超精密薄膜抵抗器を開発する。 | |||||
| 評価項目＊ | 必要性 | 新規性・ 独創性 |
目標達成の 可能性 |
推進体制の 妥当性 |
期待される 効果 |
合 計 |
| 4 | 3 | 3 | 4 | 4 | 18 | |
| 4 | 4 | 3 | 4 | 4 | 19 | |
| 3 | 4 | 3 | 3 | 4 | 17 | |
| 4 | 3 | 3 | 4 | 4 | 18 | |
| 4 | 3 | 3 | 4 | 3 | 17 | |
| 4 | 4 | 4 | 4 | 5 | 21 | |
| 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 19 | |
| 5 | 4 | 5 | 5 | 4 | 21 | |
| 委員平均 | 3.88 | 3.63 | 3.50 | 4.00 | 4.00 | 19.00 |
| 委員のコメント | ・研究課題名と研究内容が必ずしも一致していないと思われる。 ・先ず、基板フリーの薄膜の抵抗値の温度係数（ＴＣＲ）を抑えておくこと（測定しておくこと）が先決ではないか。 ・如何にして、超低ＴＣＲの薄膜抵抗器を得ようとするのか、その手段が明確でない。 |
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| ・温度係数がマイナスのものがあるのなら、技術としての困難性はそんなに高くないように見える。困難性は何か。成分の傾斜をさせたり、サンドイッチも検討したりする必要があろう。 ・長期間の安定性、耐久性は大丈夫だろうか。 ・ニーズとコストの検討は充分に行ったのか。開発できても実用化しない懸念はないのか。 |
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| 実用化にはまだまだ改良、検討の余地がありそうです。一層の努力を期待します。 | ||||||
| 薄膜抵抗器の温度係数を決める要因を明らかにし、実際に温度係数１０ｐｐｍ/℃以下の温度安定性を有する薄膜抵抗器を開発しようとするもので、有用な研究である。ただ、温度係数決定要因の解明が、実際に温度係数がゼロに近い薄膜抵抗器の製作とつながるのかは不安な点もある。（温度係数がゼロに近い抵抗体は構造上の工夫で実現されるとすると、単一薄膜で得られた知見がどこまで役に立つのか不安なところもある。）研究の進展に合わせて、探求すべきターゲットの絞込みも必要と思われる。 | ||||||
| 薄膜抵抗器の抵抗値と温度係数の経年変化についても考慮して研究を進められたい。 | ||||||
| ・具体的な明確な目標設定の下で研究計画が立案されている。 ・県内企業での製品化が期待されるテーマであり、積極的に研究を推進して欲しい。 |
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| ・高精度の具体的必要性の高さ（＝市場の大きさ）がやや不明確。 ・精度の改善もさることながら、生産性の高さをめざすべきかも。 ・他社の動向に留意が必要（作れないのか、敢えて作っていないのか）。 |
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| 特になし | ||||||