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スタッフ インフォメーション

氏  名
ふりがな
本保 栄治
ほんぼ えいじ
所  属 機械電子研究所 機械情報システム課長
対応可能な
技術分野
 真空成膜や微細加工による表面処理、X線回折やXPSによる表面分析関連の相談をお受けします。
 また、薄膜や光技術を応用した研究の相談にも応じます。
専門分野 薄膜、物理分析、光デバイス

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研究テーマ
研究実績
※ECRスパッタリング法による高性能透明導電膜の作製

※多孔質柱状酸化チタン薄膜によるエレクトロクロミック素子の実用化研究

※レーザー干渉法によるナノ構造をもつ光学部品の開発

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