オスミウムコーター

機器概要

本装置は、試料表面にオスミウムを蒸着・コーティングすることで試料に導電性を与える装置で す。複雑な形状の試料であっても、均一で薄い膜が安定して形成できます。

主な用途

SEMによる表面観察やオージェ分析をおこなう試料の微細な表面に、導電性を付与するために利用さ れます。
金コーターによる前処理では対応しきれない複雑な表面形状を有する試料において、均一なオスミウ ムの導電膜が、安定かつ容易に成膜できます。

基本仕様