富山県産業技術研究開発センター
機械電子研究所 測定計測設備

マイクロフォーカスX線CT装置  icon

マイクロフォーカスX線CT装置 外観

機器概要

検査対象物に、焦点サイズ数μmのX線を照射しながらテーブルを回転させ、連続的に撮影された 投影画像から、ソフトウェア処理により断層画像(CT画像)を高速再構成する。

主な用途

機械部品、電子部品,プラスチック製品などの内部を、非破壊で三次元的に撮影・記録すること で、微細構造や欠陥状態の正確な把握や設計値との比較に役立てる。

基本仕様

設備名 マイクロフォーカスX線CT装置
メーカー名 株式会社島津製作所
型式 inspeXio SMX-225CT FPD HR
導入年 H28年度
仕様
  • 最高空間分解能:4µm
  • 最大管電圧:225kV
  • CTの走査モード:ノーマル走査、ハーフ走査、オフセット走査
設置場所 富山県産業技術研究開発センター
機械電子研究所(富山市)
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