富山県産業技術研究開発センター
ものづくり研究開発センター　機械加工設備

集束イオンビーム加工機

集束イオンビーム加工機< 外観

機器概要

金属素材や電子デバイスなどの製品に対し、局所的にイオンビームを照射することで透過型電子顕微 鏡(TEM)用の薄片試料加工や表面に機能性付与のための微細形状加工などを行う加工観察装置です。

主な用途

TEM用試料加工（マイクロサンプリング ⇒ 薄片化）
表面微細形状加工
断面加工観察

基本仕様

設備名 集束イオンビーム加工機
メーカー名 株式会社日立ハイテク
型式 FB2200
導入年 H22年度
仕様
  • Ga液体金属イオン源
  • 最大ビーム電流 60nA
  • マイクロサンプリング機能
  • 最大試料サイズ Φ75 × 15(h) mm
設置場所 も富山県産業技術研究開発センター
ものづくり研究開発センター(高岡市）
お問い合わせ お問い合わせはこちら