電界放出形走査電子顕微鏡

機器概要

細く絞った電子線を試料表面に照射・走査し、発生する信号を検出して、微細構造の観察や元素組成 分析、および結晶方位解析を行う装置です。
　 サーマルショットキー電界放出形電子銃を使用しており、幅広い材料についてナノオーダーで表面観 察することが可能であり、また大照射電流により分析にも適しています。