20 |
電圧をかけると着色するエレクトロクロミックを利用したディスプレイ素子は、着色による鮮明な表示、動作電圧・消費電力が低い、メモリ機能を持つなどの特徴があり、時計などの情報表示や防眩ミラーへの応用が検討されてきた。一方、電気化学的な反応による動作速度、耐久性、微細な表示が課題であった。その構造は、酸化タングステンなどの無機薄膜を利用するものや有機色素を含む溶液を利用するものが代表的である。我々はこれまでに2つのTiターゲットに中周波の電圧を印加するスパッタリング法により、光触媒機能の高い多孔質柱状酸化チタン薄・・・ |
 |
 |