研究開発テーマ詳細

課題番号	5-028
タイトル	MEMS技術により作製する加速度センサ及び超小型マイクロデバイス等に関する研究
研究者	小幡　勤
研究期間	平成18年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
18	多軸慣性量を検出するセンサの開発は、この数年の間に大きく進歩を成し遂げ、携帯機器搭載へ向けた超小型化に向けた競争が始まっている。また、一昔まえのスパコン並みの処理能力を有する高性能なＣＰＵを備えたゲーム機が登場し、多軸慣性センサが本格的にコンシューマユースとして普及し始めた。本研究は、１７年度までの研究成果を踏まえ、開発中の３軸加速度センサのさらなる性能向上を検討した物である。また、新らたなMEMS 技術の応用展開として超小型マイクロデバイスについて検討している。