研究開発テーマ詳細

課題番号	7-047
タイトル	低温度結晶化スパッタ技術による高性能感温磁性材料の開発
研究者	岩坪　聡
研究期間	平成19年度

年度	報告書　＜冒頭部分＞	研究報告本文	研究成果概要
19	近年、局所的な温度を正確に測定するリモートセンシング技術の要望が高まっている。その解決としては、感温磁性材料を用いた温度センシングが有効である。感温磁性材料としては、スピネルフェライトのFeをZnやMgで置換した構造のZn系フェライトが適している。しかしながら、そのフェライト膜の作製には、基板温度を1000℃近い高温に設定しなければならず、薄膜材料としての実用化に問題があった。低温で膜の結晶性を向上させるには、膜の結晶成長を妨げない低運動エネルギー状態での膜堆積と同時に、電子などの照射による材料表面の局所・・・