概要・沿革 組織・研究職員 交通案内
スタッフ インフォメーション
| 氏 名 ふりがな |
鍋澤 浩文 なべさわ ひろふみ |
| 所 属 | 機械電子研究所 機械情報システム課長 |
| 対応可能な 技術分野 |
金属材料やプラスチック製品の強度試験に関する技術相談に対応致します。 また、プラスチックや圧電材料のドライエッチング技術に関する研究を行っていますので、ドライエッチングを含む半導体微細加工技術に関する相談にも対応いたします。 |
| 専門分野 | 半半導体微細加工、薄膜、MEMS、ドライエッチング J-GLOBAL 研究者情報へ  |
| 研究テーマ 研究実績 |
※複合プラズマ装置によるμリアクター製造技術の研究開発 ※機能性材料の微細加工技術に関する研究開発 ※ |