研究開発課題一覧

研究タイトル	主任研究者
2軸ジャイロセンサの試作と特性評価に関する研究	小幡　勤
ＤＮＡチップ、細胞チップの実用化研究	谷野克巳
ＤＮＡチップ、遺伝子解析チップの実用化研究	谷野克巳
ＤＮＡチップ、遺伝子解析チップの実用化研究	藤城敏史
LiNbO3、LiTaO3用反応性イオンエッチング装置の研究開発	鍋澤浩文
MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽにおける貫通電極技術に関する研究	小幡　勤
MEMS加工による高アスペクト比微細構造体製作技術に関する研究	小幡　勤
MEMS技術により作製する加速度センサ及びマイクロアクチュエータ等に関する研究	小幡　勤
MEMS技術により作製する加速度センサ及びマイクロアクチュエータ等に関する研究	小幡　勤
MEMS技術により作製する加速度センサ及び超小型マイクロデバイス等に関する研究	小幡　勤
MEMS技術により作製する加速度センサ及び超小型マイクロデバイス等に関する研究	小幡　勤
MEMS技術による改良型３軸加速度センサの設計・開発及び超小型マイクロデバイス等に関する研究	小幡　勤
MEMS技術を応用した磁気風式ガスレートジャイロセンサの研究開発	小幡　勤
MEMS技術を応用した磁気風式ガスレートジャイロセンサの研究開発	小幡　勤
MEMS技術を用いた多軸機械量センサの試作と特性評価に関する研究	小幡　勤
ＳｉＧｅ薄膜のマイクロマシンセンサーへの応用	小幡　勤
SOI基板を応用したMEMSデバイスに関する研究	小幡　勤
μリアクター素子製造技術の研究開発	鍋澤浩文
新たな炭素材料を用いた環境計測機器の開発	小幡　勤
新たな炭素材料を用いた環境計測器の開発	小幡　勤
機能性材料の微細加工技術に関する研究開発	鍋澤浩文
コアーシェル型ナノ構造体の作製と高機能性材料への応用	岩坪　聡
高機能光学系樹脂製品の開発に関する研究	大永　崇
シリコンモールドによるダイヤモンドアレイ工具の創成とマイクロ加工への応用	小幡　勤
水晶の微細加工に関する基礎研究	鍋澤浩文
センサー用狭ギャップ対向電極の開発	釣谷浩之
ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発	小幡　勤
ナノ構造制御によるポリオレフィンの高性能化研究	大永　崇
ニオブ酸リチウムの反応性イオンエッチングに関する基礎研究	鍋澤浩文
バイオチップ用レジストの開発とマイクロデバイスへの応用	横山義之
ハイブリッドセンサとパッケージング技術の研究開発	小幡　勤
ハイブリッドセンサのパッケージング技術の研究開発	小幡　勤
白金薄膜に関する基礎研究	鍋澤浩文
微細構造樹脂製品の開発	大永　崇
マイクロマシニング技術を用いた機械量センサの開発	小幡　勤
ロボット用６軸運動量センサに関する研究開発	小幡　勤
医療用磁気めっきデバイスの研究開発	小幡　勤
外乱下においてサブ原子層レベルの感度を有する次世代QCMの開発	鍋澤浩文
貴金属コアシェル型ナノ構造体の作製とその高性能脱臭・抗菌剤への応用	岩坪　聡
銀複合ナノ粒子を用いた高機能岩盤浴用石材の開発	岩坪　聡
細胞スクリーニング用低コストチップの開発	大永　崇
次世代、低価格液晶ディスプレイにおける画素制御素子の開発	小幡　勤
磁気チップを用いた単一細胞レベルでの細胞間相互作用の網羅的解析法の開発	小幡　勤
樹脂からなる細胞チップの開発	大永　崇
新規MEMSデバイスのためのMEMSプロセスに関する研究	小幡　勤
生体材料の微細パターン形成とその応用に関する研究	横山義之
静電容量型多軸モーションセンサの試作と特性評価に関する研究	小幡　勤
静電容量型多軸モーションセンサの他軸感度特性改善に関する研究	小幡　勤
多軸ジャイロセンサの試作と特性評価に関する研究	小幡　勤
単一細胞間相互作用解析用磁気操作デバイスの開発	小幡　勤
超小型・多軸検出慣性センサの試作と特性評価に関する研究	小幡　勤
電子回路用ウェットエッチング液の研究	小幡　勤
複合プラズマ装置によるμリアクター製造技術の研究開発	鍋澤浩文
無機ナノ粒子の抗菌スペクトル解明と製品への応用研究	岩坪　聡
流路チップを用いた抗体探索システムの開発	鍋澤浩文